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质量流量控制器概述

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热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

质量流量控制器简介

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使用范围： 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

特点：流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。

质量流量计的用途

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1. 锅炉、裂解炉用燃料气质量流量测量控制；

2. 石油化工、采油、火炬气质量流量测量；

3. 燃烧炉用空气质量流量测量控制;燃汽轮机氢气质量流量和控制；

4. 食品加工及饮料气体质量流量和控制；

5. 水厂气质量流量控制；

6. 生产半导体时高纯度气体质量流量测量；

7. 催化剂、化学添加剂质量流量测量；

8. 泵的保护控制、泵密封、润滑油池泄漏检测；

9. 空调系统控制；

10. 仪表用空气、工艺空气、氮气等质量流量测量。

11. 气体分析仪，大气采样器

12. ***监测

13. 气体分配系统

14. 实验室气体测量

15. ***应用

16. 燃料电池

17. 应用气体：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, ***H10, 等绝大多数气体。

质量流量计简介

流体的体积是流体温度和压力的函数，是一个因变量，而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述，常用的流量计中，如孔板流量计、层流质量流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求，通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后，通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法，中间环节多，质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置，从而推动了流量测量技术的进步。

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