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发布时间:2020-06-24 16:43:08
质量流量控制器的常见问题
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实际使用中发现,当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符,其实原因很简单,因为在MFC行业中,有一种参数叫CF,即气体转换系数(下面简称CF)。而MFC行业中又把N2(氮气)定义为标准气体M。N2的C值为1.00,其他的气体以氮气为中心,分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02(氧气)、H2(氢气)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话,简单的分析其比率,用各自的CF值计算即可。
假设某台MFC是用N2标定的,但是实际流过的气体是He,实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同,但大约都在1.4,所以简单的说就是He气相同示数时,是N2的1.4倍流量。反过来,如果N2流过He的MFC,实际的流量大约是1÷1.4=约0.71,少30%的流量。
因此控制器发现流量不准时,考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。
质量流量计概述
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主要特点
1. 适用多种介质
2. 测量准确度高
3. 无直管段要求
4. 可靠性好
5. 维修率低
6. 具有核心处理器
主要分类
质量流量计可分为两类:一类是直接式,即直接输出质量流量;另质量流量计一类为间接式或推导式,如应用超声流量计和密度计组合,对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
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