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要求

不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。实验室“气体工程”是一项较为复杂，严谨的系统工程，需要***的工程公司参与整体设计规划。

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智能气路系统功能模块

根据不同研究方向需求不同，智能气路系统可以实现以下基本功能模块：

气体流量单独控制：用户可通过屏幕上显示的气路原理图直接设定内部质量流量控制器（MFC）流量，设定范围为2%-100%F.S.

电磁截止阀单独控制：用户可通过屏幕上显示的气路原理图直接控制电磁截止阀关断/开启

自动分段进气功能：按照客户给出的流量设定值及时间长度自动完成分段进气，客户可针对流量实现二次编程，自动进气

压力报警和处理：配合压力传感器及电磁阀的联动，用户可自定义设定压差上限与下限，实现压差上限下限报警或关断功能，保护实验结果和气路系统

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气体管路要求

引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

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